В толковых словарях русского языка слово «фотолитография» имеет несколько значений. Вот основные:
ФОТОЛИТОГРА́ФИЯ, -и, ж.
1. Литография, основанная на применении фотографии, когда рисунок, изображение с негатива наносится на литографский камень или металлическую пластину, покрытые светочувствительным слоем.
2. Оттиск с литографской печатной формы, изготовленной таким способом.
фотолитография ж.
1. Литография, основанная на применении фотографии фотография I 1.: рисунок или изображение с негатива наносится на литографический камень или на металлическую пластинку, покрытые светочувствительным слоем.
2. Оттиск с литографической печатной формы, изготовленный таким способом.
ФОТОЛИТОГР’АФИЯ, фотолитографии, ·жен. (·тип. ). Литография, основанная на применении фотографии. см. фото... в 1 ·знач.
1. широко используемый в микроэлектронике и полиграфии метод получения рисунка на тонкой плёнке материала с помощью света определённой длины волны ◆ «Рисунок» из четырёх тысяч транзисторов и их подключения обеспечены методами фотолитографии. Степан Васильев, ««Атомный бильярд» для электроники» // «Зеркало мира», 2012 г. (цитата из НКРЯ)
2. истор. литография с применением фотографии ◆ Пуатевен покрыл литографский камень хромированной желатиной, проэкспонировал на этот слой изображение, проявил его и покрыл краской. Свой способ он назвал фотолитографией. Е. Л. Немировский, «Иоганн Гутенберг», 1989 г. (цитата из библиотеки Google Книги)
Фотолитогра́фия — метод получения определённого рисунка на поверхности материала, широко используемый в микроэлектронике и других видах микротехнологий, а также в производстве печатных плат. Один из основных приёмов планарной технологии, используемой в производстве полупроводниковых приборов.
Суть процесса фотолитографии сводится к тому, что вначале на обрабатываемую поверхность наносится тонкая фоточувствительная полимерная плёнка (фоторезист). Затем эта плёнка засвечивается через фотошаблон с заданным рисунком. Далее проэкспонированные участки удаляются в проявителе. Получившийся на фоторезисте рисунок используется для таких технологических этапов планарной технологии, как травление, электроосаждение, вакуумное напыление и другие. После проведения одного из этих процессов оставшийся, не удалённый при проявлении, фоторезист также удаляется.
Принципиальное отличие фотолитографии от других видов литографии заключается в том, что экспонирование производится светом (видимым или ультрафиолетовым), тогда как в других видах литографии для этого используется рентгеновское излучение (рентгеновская литография), поток электронов (электронно-лучевая литография) или ионов (ионно-лучевая литография) и другое.
Наименьшие размеры деталей рисунка, достижимые в фотолитографии (разрешение), определяются: длиной волны используемого излучения, качеством применяемой при экспонировании оптики, свойствами фоторезиста и достигают 100 нм. Применение специальных методов (иммерсионная литография) теоретически позволяет получить разрешение до 11 нм.